• 高精度 ±1.0% 設(shè)定點
  該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補(bǔ)償，并實現(xiàn)在流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。
• 高速響應(yīng)
  裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。可變 PID 根據(jù)流量點設(shè)置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化 PID 系數(shù)。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速方便地更改規(guī)格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質(zhì)量流量控制器，即可進(jìn)行更改。減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時間和成本。

SEC-Z500X 質(zhì)量流量控制器適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。